Nghiên cứu ảnh hưởng của áp suất phún xạ tới tốc độ lắng đọng của lớp màng CrN Nguyễn Trung Hiếu  

Nghiên cứu ảnh hưởng của áp suất phún xạ tới tốc độ lắng đọng của lớp màng CrN

Loại tài liệu: Tài liệu giấy - LV:Luận văn

Tác giả: Nguyễn Trung Hiếu

Nhà xuất bản:

Năm xuất bản: 2019

Tóm tắt nội dung

Luận văn trình bày tổng quan về công nghệ tạo màng bằng phương pháp PVD, cơ sở lý thuyết tạo màng cứng bằng phương pháp PVD, nghiên cứu ảnh hưởng của áp suất phún xạ tới tốc độ lắng đọng của màng CRN

Tác giả:Nguyễn Trung Hiếu
Thông tin nhan đề:Nghiên cứu ảnh hưởng của áp suất phún xạ tới tốc độ lắng đọng của lớp màng CrN
Xuẩt bản,phát hành:H.: 2019
Mô tả vật lý:91tr.
Từ khóa:Áp suất phún xạ. Lớp màng CrN
Mật khẩu:

(Yêu cầu có hiệu lực trong vòng 02 ngày kể từ ngày gửi yêu cầu)

TỪ KHÓA